一、超硬涂层研究进展（论文文献综述）
范其香,林静,王铁钢[1]（2022）在《刀具涂层材料的最新研究进展》文中研究指明随着难加工材料和绿色干切削等先进加工技术的开发与广泛应用,刀具切削环境日益严苛,刀具涂层材料不断更新换代。涂层材料已由最初的二元涂层逐渐发展成三元及多元涂层,结构由单层逐渐向多层、梯度、复合结构转变。首先总结了几种常用二元涂层的性能和特点。再以Ti基和Cr基三元及多元涂层为例,阐述了掺杂元素对涂层微观结构和性能的影响及强化机制,分析了多元涂层的研究现状和面临的难题,以及多种掺杂元素的协同作用机制。还讨论了纳米晶/非晶复合结构涂层、纳米多层涂层以及梯度涂层的结构优势及研究现状,介绍了金刚石、类金刚石和立方氮化硼三种超硬涂层以及具有低摩擦因数软涂层的特点和研究进展。最后介绍了近几年研究的热点涂层（如高熵合金涂层、含氧涂层和多元多层复合涂层）的研究现状,并对刀具涂层的未来发展方向进行了展望。
梁丹丹,张而耕,黄彪,陈强,周琼[2]（2021）在《热喷涂制备Fe基非晶涂层的磨损行为研究进展》文中提出Fe基非晶合金具有高强度、高硬度、优异的耐磨损性、成本低等优点,但室温本征脆性和有限的玻璃形成能力极大地限制了其作为工程材料的应用前景。利用热喷涂技术制备出的Fe基非晶涂层在保留优异性能的同时,又可以实现其在大尺寸工件的表面防护应用。对Fe基非晶涂层的制备方法,以及非晶涂层的内部组织结构和外部服役环境对Fe基非晶涂层的摩擦磨损行为的影响进行综述。同时,为了优化Fe基非晶涂层的结构和性能,对Fe基非晶涂层的下一步研究趋势进行了展望。
尹照星[3]（2021）在《脉冲直流磁控溅射Zr-B-C-（N）涂层的微观结构和性能研究》文中指出随着航空航天事业及现代加工制造业的快速发展,现代加工刀具需要具有高切削速度、高进给量、长寿命和高精度等特性,在刀具表面涂覆硬质涂层是提升加工精度和效率并延长刀具使用寿命的一种有效方法。Zr B2作为一种过渡金属硼化物,具有高熔点（3245℃）、高硬度（23GPa）、高热导率和低热膨胀系数等独特的性能,适用于极端环境。但是Zr B2作为防护涂层,脆性很大,结合力较低,容易发生剥落从而限制其推广应用。为进一步增强涂层韧性,本论文以Zr B2涂层为研究对象,以掺杂改性为主要调控手段,系统研究了不同掺杂元素对涂层组织结构、成分、力学性能和摩擦学性能的影响。研究内容及结论如下:碳（C）掺杂对Zr B2涂层性能影响的研究。本研究中,通过向Zr B2中掺入轻原子C构建非晶C包裹纳米晶粒的复合结构,利用大比例两相界面阻挡微裂纹扩展,改善涂层韧性。采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术研制Zr-B-C涂层,反应沉积时保持总压强不变,通过改变乙炔（C2H2）流量制备不同C含量的Zr-B-C涂层。研究发现,Zr-B-C涂层中相结构主要由hcp-Zr B2相组成,随着C含量增加,涂层生长择优取向逐渐由（001）晶面转变为（200）晶面,涂层结晶度也呈现下降趋势。微观组织从明显的柱状晶转变为细小致密的纤维状结构,当C2H2流量增大到15sccm时涂层又转变为柱状晶结构。当乙炔流量为10sccm时,Zr-B-C涂层硬度最高约为23GPa,且具有较强的抗裂纹扩展能力。在摩擦实验中发现,乙炔流量为15sccm时,在非晶碳的润滑下涂层的磨损率低至1.9×10-7mm3/mm·N,经优化,反应沉积时乙炔气体最佳流量为10sccm。真空室内溅射压强可以改变溅射粒子的能量,从而影响涂层的成分、微观结构和力学性能。采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射技术,调节工作压强制备一系列Zr-B-C涂层。随着溅射压强的增加,由于溅射粒子的平均自由程减小,涂层的沉积速率逐渐升高。在沉积压强为0.5Pa时,涂层具有良好的硬度、韧性、残余应力和耐磨性能,磨损率为5.43×10-7mm3/mm·N,此时涂层的综合性能最优。氮（N）掺杂对Zr-B-C涂层性能影响的研究。本研究中,通过向Zr-B-C涂层中掺杂N元素,调控制备出非晶BN和非晶C包裹氮化物和二硼化物纳米晶的复合结构涂层,进一步提升涂层性能。采用脉冲直流磁控溅射技术,保持总压强不变,通过改变氮气流量,制备具有不同N含量的Zr-B-C-N涂层。随着N2流量增加,涂层择优取向由（001）晶面向（223）晶面转变,晶粒尺寸逐渐细化,当N2流量为10sccm时涂层表面光滑、结构致密。N含量对涂层硬度影响显着,随着N含量的增加,由于涂层中软质相增多,涂层的硬度几乎呈直线式下降。优化出的N2流量为10sccm,此时涂层具有良好的韧性、膜-基结合强度和耐磨性能,磨损率为2.3×10-8mm3/mm·N。
刘迁[4]（2021）在《AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN多层复合刀具涂层的制备及性能影响》文中提出随着国家先进制造技术AMT的发展,中国制造2025国家计划迈入一个新的时代,这在很大程度上促进了高速切削、模具加工、航天航空以及各个领域中先进技术的发展。AlCrSiN虽然具有优良的力学性能,但是切削过程耐热能力差,在表层增加AlCrON涂层可以提高耐热能力,隔热效果增强,但却使涂层脆性增加,用两层韧性高的AlCrN涂层包裹AlCrON涂层来提高涂层的硬度和韧性;AlCrSiN涂层和刀具基体之间存在热膨胀系数高和应力梯度,加入AlCrN中间层可以起到应力缓冲,从而提高结合强度;基于以上,本文利用全自动电弧离子镀膜技术沉积了AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN纳米多层涂层,并且深入地研究了不同调制比和不同调制周期工艺对涂层的影响,分析了涂层的力学、摩擦学和微观结构方面的性能,然后将优化好的涂层涂覆在立铣刀具上,并和国产AlTiN涂层铣刀、进口AlCrN涂层铣刀进行了切削实验对比,研究结果如下:改变AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层中AlCrSiN、AlCrN、AlCrON和AlCrN层之间的调制比,会改变涂层组织结构,改变晶粒生长方向。结果如下:沉积的AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层具有非晶Si3N4包裹（Al,Cr）N纳米晶的复合结构;当AlCrSiN涂层与AlCrN、AlCrON和AlCrN涂层调制比为1:1时,涂层在（202）晶面择优取向,并且fcc-Cr N（110）和（220）、fcc-Al N（110）和（200）面衍射峰与标准衍射角有明显的偏离;在AlCrSiN涂层与AlCrN、AlCrON和AlCrN涂层调制比为1:1时,涂层力学性能中硬度、弹性模量和膜/基结合力达到最大值,为20.12 GPa、381.20 GPa和138.51 N;涂层力学性能中摩擦系数、磨损率均达到最小值,为0.574和0.962×10-3μm3/N·μm。改变AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层的调制周期,可以优化涂层界面质量,改变涂层综合性能。结果如下:保证AlCrSiN、AlCrN、AlCrON和AlCrN涂层调制比为3:1:1:1时,改变AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层调制周期,AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN纳米多层膜均为面心立方结构,并且具有明显的调制结构,调制界面清晰;随着调制周期的增加,涂层硬度和结合力均出现先增加后减少的趋势,当Λ=300 nm时,涂层硬度和结合力均达到最大值,为31.029 GPa和146.28 N;涂层力学性能中摩擦系数、磨损率均达到最小值,为0.592和1.04×10-3μm3/N·μm。在切削深度0.6 mm,切削宽度0.3 mm的切削条件下,国产AlTiN涂层、进口AlCrN涂层和AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层的立铣刀45#淬火钢进行切削。三种涂层刀具失效时间为35 min、47 min和66 min,AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层刀具磨损状态介于国产AlTiN涂层刀具和进口AlCrN涂层刀具磨损状态之间,AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层刀具的切削寿命比国产AlTiN涂层刀具的切削寿命长,比进口AlCrN涂层刀具的切削寿命短。
许人仁[5]（2021）在《还原性气氛中Zr-Ti-B-N纳米复合涂层的制备和性能研究》文中研究指明随着当代机械加工领域的快速发展,难加工材料逐渐增多。其中钛合金材料因具有强度高、耐蚀性好、耐热性高等优点被广泛应用于航空航天等军事化领域。但由于其导热系数低、切削温度高等加工难点的存在,对涂层刀具提出了更高的耐热性需求。在众多涂层体系中Zr-B-N涂层因具有良好的韧性、耐磨损和高温热稳定性而备受关注,但该涂层硬度较低。为此可从减少真空室中掺杂的杂质氧元素以及向涂层中掺杂Ti元素固溶强化两方面入手对涂层性能进行优化,有望研制出更具发展前景的纳米复合涂层。为此,本文采用高功率脉冲与脉冲直流复合磁控溅射技术在还原性气氛下沉积Zr-Ti-B-N纳米复合涂层,系统研究了还原性气体氛围、反应气体流量和Ti B2靶功率对涂层物相组成、硬度以及磨损率等性能的影响机制,具体研究内容如下:向真空室中引入少量还原性气体中和残存的氧杂质,可抑制纳米晶与非晶界面处Ti-O键、B-O键的产生,减轻氧杂质对涂层纳米尺度界面的破坏。随着还原性气体H2的加入,涂层晶粒尺寸明显减小,微观结构愈加致密且柱状晶结构更为显着;硬度由14.3 GPa升高至17.6 GPa,同时涂层的抗磨损性能得到大幅提高,磨损率由4.67×10-14m3/（N·m）降低至2.05×10-14m3/（N·m）。反应气体流量的变化将影响涂层内硬质相与非晶相比例,进而对涂层内部组织结构和机械性能产生影响。利用该复合磁控溅射技术制备的Zr-Ti-B-N涂层均存在沿（001）晶面择优生长的Zr B2相衍射峰,在N2+H2流量为10 sccm时,该衍射峰最强。随着反应气体流量的增加,涂层表面晶粒生长的无序性以及团簇现象加剧,涂层内纳米晶数量增多。当反应气体流量为10 sccm时,涂层摩擦系数与磨损率最低,分别为0.83和1.63×10-14m3/（N·m）,耐磨损性能最好。向Zr-B-N涂层中加入Ti元素后,由于Ti-B离子键键能较低易被N离子优先打开形成非晶BN,使剩余的Ti离子固溶于晶格引起晶格畸变,可起到强化涂层机械性能的作用。结果表明:向涂层中加入Ti元素后,涂层结构致密度明显增加。随着Ti B2靶溅射功率的不断增加,（001）晶面Zr B2相衍射峰结晶强度迅速增加。当Ti B2靶功率为0.8 k W时,涂层硬度达到最大值25.2 GPa。摩擦性能方面:当Ti B2靶功率为1.0 k W时,涂层的摩擦系数和磨损率最低,分别为0.64和1.16×10-14m3/（N·m）,此时涂层的H/E值和H3/E*2值均达到最大,具有最佳的摩擦学性能。
张权[6]（2020）在《复合PVD氮化物刀具涂层的制备及其性能研究》文中认为表面涂层可有效减少刀具的切削磨损、提升加工效率以及加工质量,已成为金属切削领域的研究重点。作为一种典型的刀具涂层,AlTiN具有良好的硬度和热稳定性,已成功在工业上获得大规模应用。然而,对生产效率的不尽追求以及难加工材料的普及应用给切削加工刀具及其表面涂层材料提出了愈来愈高的要求。刀具涂层不仅需具备高硬度和耐磨性,还要有优异的结合力和高温稳定性。纵观整个制造业的升级转型,无一不从生产技术和材料两方面来进行推动。刀具涂层的PVD制备技术有电弧离子镀和磁控溅射,它们各有优势、相互补充。而在材料设计方面,成分调制的纳米多层结构能结合不同组元的特点,且能协同提高硬质涂层的硬度和韧性,是近年来氮化物硬质涂层的研究热点。本文从纳米多层结构的设计出发,系统研究了 AlTiN/AlCrSiN涂层的结构和高温性能;然后基于电弧离子镀/磁控溅射复合沉积技术的开发,制备具有高膜基结合力和低残余应力的AlTiN基纳米多层涂层,并详细研究其高温摩擦磨损、抗氧化性能和高速干式切削性能,取得的主要研究成果如下:1)采用电弧离子镀制备具有不同调制周期的AlTiN/AlCrSiN纳米多层涂层,研究发现,当调制周期为8.3 nm时,AlTiN/AlCrSiN涂层表现最优的的力学性能,且在1000℃氧化后仅形成～0.3 μm厚的氧化层。高温摩擦磨损实验结果表明AlTiN/AlCrSiN（Λ=8.3 nm）涂层具有比单层涂层更为优异的耐磨性。在对SKD11模具钢的高速干式车削试验中,AlTiN/AlCrSiN（Λ=8.3 nm）涂层刀具的切削寿命是单层AlTiN涂层刀具的～4.5倍。2)电弧/溅射复合沉积的过程参数（如气体总压、氮气分压、溅射功率等）对AlTiN涂层的结构和性能有着显着影响。复合沉积AlTiN涂层是由电弧层和溅射层周期性堆叠而成,具有纳米多层结构。当调制周期为9.0 nm和调制比为3:1时,溅射AlTiN层在电弧AlTiN层实现外延生长,复合沉积涂层具有最高硬度值（>33 GPa）和良好的韧性、结合力,其在室温和高温下均表现出比单一电弧或溅射沉积的AlTiN更好的耐磨性。3)电弧/溅射复合沉积AlTiN/AlCrN纳米多层涂层具有面心立方结构,表现为柱状晶生长形貌。当调制周期为9.3 nm时,受剪切模量差、Hall-Patch以及交变应力场等强化机制的共同作用,AlTiN/AlCrN涂层表现出最大的硬度和H/E*比值。高温氧化过程中,AlTiN/AlCrN涂层表面生成致密的（Al,Cr）203混合氧化物,抗氧化性能显着提升。优异的力学与高温抗氧化性能让复合AlTiN/AlCrN涂层具有更好的耐磨性。4)进一步对复合沉积AlTiN（H-AlTiN）涂层的高速切削性能进行研究,并与商用AlTiN涂层（B-AlTiN）进行对比。高速干式切削316L不锈钢中,相同切削距离下B-AlTiN涂层刀具的后刀面磨损宽度是H-AlTiN涂层刀具的1.7倍。其中,B-AlTiN涂层刀具的主要磨损形式为切削刃的沟槽磨损与粘结磨损、磨粒磨损、氧化磨损以及扩散磨损造成的前、后刀面磨损;而H-AlTiN涂层刀具则表现为切削刃口涂层的轻微磨损与粘结磨损、磨粒磨损、氧化磨损以及扩散磨损造成的前、后刀面磨损。车削QT600-3球墨铸铁时,B-AlTiN涂层刀具的磨损机理为前、后刀面的热疲劳裂纹扩散与磨粒磨损、氧化磨损、粘着磨损以及扩散磨损造成的前、后刀面磨损;而H-AlTiN涂层刀具则为磨粒磨损、氧化磨损、粘着磨损以及扩散磨损造成的前、后刀面磨损。H-AlTiN涂层具有更高的硬度、结合强度以及韧性,因此在316L不锈钢与QT600-3球墨铸铁高速干式切削中表现出比B-AlTiN涂层刀具更优异的抗磨损性能。
张而耕,黄彪,陈强,周琼,李朝明,潘文高,林荣川,陈刚[7]（2020）在《微纳米超硬TiAlSiN涂层的研究与应用进展》文中进行了进一步梳理微纳米超硬TiAlSiN涂层是一种硬度高、耐磨性抗粘附性好、化学惰性强的氮化物涂层,特别适合在加工不锈钢、高温合金以及超硬材料的工具表面上应用。对TiAlSiN涂层的制备方法,影响微纳米超硬涂层内部结构的因素,涂层的硬度、摩擦性能、磨损性能、抗氧化性能、切削性能、抗粘附性及涂层的应用等方面进行了综述,同时对微纳米超硬TiAlSiN涂层的发展趋势进行了展望。
汤美红[8]（2020）在《cBN涂层硬质合金刀具界面结合性能研究》文中研究表明cBN涂层硬质合金刀具具有较高的硬度、耐磨性以及良好的抗冲击性和强韧性,是加工黑色金属材料的理想刀具。目前,国内外对cBN涂层硬质合金刀具的相关研究主要集中在实验研究,从微观原子角度上对其界面结合性能的研究较少。本文基于第一性原理与分子动力学方法,从微观原子角度上对cBN涂层WC-Co硬质合金刀具界面结合性能进行模拟研究,本研究对揭示该涂层刀具的界面结合机理、优化涂层制备工艺具有重要的理论和实际意义。研究了不同终端的cBN涂层WC-Co硬质合金刀具界面结合性能。构建了WC-Co/cBN4B、WC-Co/cBN4N、WC-Co/cBN1B-OX、WC-Co/cBN1N-OX、WC-Co/cBN1N-OY 和WC-Co/cBN1B-OY六种界面模型,计算了界面粘附功和断裂韧性,研究结果表明:WC-Co/cBN4B界面模型具有最大粘附功9.705J/m2,界面最稳定;WC-Co/cBN4N界面模型具有最小粘附功4.470J/m2,界面最不稳定。进一步对WC-Co/cBN4B和 WC-Co/cBN4N两种界面模型进行了差分电荷密度、态密度和Mulliken布居等电子结构分析,结果表明:与Co-N键相比,Co-B键的布居数更大,键长更小,键能更大,界面处Co-B共价键强于Co-N共价键。基于最稳定和最不稳定的界面模型进行了含不同中间层的cBN涂层WC-Co硬质合金刀具界面结合性能研究。首先,进行了含Diamond单中间层的涂层刀具界面结合性能研究,构建了 WC-Co/Diamond/cBN4B和WC-Co/Diamond/cBN4N两种界面模型,计算了界面粘附功和断裂韧性,并进行电子结构分析,研究结果表明:Diamond/cBN界面处粘附功增加,界面结合性能提高,WC-Co/Diamond界面处粘附功减小,界面结合性能下降;这两种界面模型中,WC-Co/Diamond/cBN4B界面处的C-B键、Co-C键的布居数更大、键长更小、键能更大,界面结合性能更强。然后,进行了含SiC/Diamond双中间层的涂层刀具界面结合性能研究,构建了 WC-Co/SiCc-Si/Diamond/cBN4B、WC-Co/SiCSi-C/Diamond/cBN4B、WC-Co/SiCC-Si/-Diamond/cBN4和WC-Co/SiCSi-C/Diamond/cBN4N四种界面模型,计算了界面粘附功和断裂韧性,进行了电子结构分析,研究结果表明:WC-Co/SiC界面的结合性能比添加单中间层时WC-Co/Diamond界面的结合性能提高;这四种界面模型中,WC-Co/SiCSi-C/Diamond/cBN4B模型的界面粘附功最大,界面结合性能最强;与含单中间层相比:添加双中间层的模型粘附功更大、界面结合性能更强、界面更稳定。进行了沉积温度对不含中间层、含单、双中间层的cBN涂层WC-Co硬质合金刀具界面结合性能的影响研究。构建了 WC-Co/cBN4B、WC-Co/Diamond/cBN4B和 WC-Co/SiCSi-C/-Diamond/cBN4B三种超晶胞界面模型,在不同的沉积温度下（1023K、1073K、1123K、1173K、1223K、1273K、1323K）进行分子动力学模拟研究,进行了界面粘附功和界面键长分布分析,研究结果表明,在本文研究的温度范围内:对于不含中间层的cBN涂层硬质合金刀具,在WC-Co基体上沉积cBN涂层最合适的温度是1223K;对于含Diamond单中间层的cBN涂层硬质合金刀具,在WC-Co基体上沉积Diamond中间层、cBN涂层最合适的温度是1173K;对于含SiC/Diamond双中间层的cBN涂层硬质合金刀具,在WC-Co基体上沉积SiC、Diamond中间层最合适的温度是1173K,在Diamond上沉积cBN涂层最合适的温度是 1223K。
黄雪丽[9]（2020）在《氮化物纳米多层涂层微观结构调控及其耐磨耐腐蚀性能研究》文中指出表面镀膜技术已广泛应用于表面防护、加工制造、半导体、光学器件、装饰等行业。本文通过物理气相沉积（PVD）技术沉积氮化物纳米多层涂层,调控涂层生长结构,打断柱状晶生长结构,利用纳米多层的增硬、增韧及“封孔作用”,制备出具有高硬度、高韧性、结合力好、耐磨性及耐腐蚀性能高的涂层,提高硬质涂层的综合防护效果,从而能够显着改善钛合金基体的摩擦磨损性能及耐腐蚀性能。主要内容如下:利用磁控溅射镀膜技术制备TiN、ZrN单层与其纳米多层涂层,研究纳米多层相对于单层的优势,及调制周期（Λ）对纳米多层性能的影响规律。单层与纳米多层涂层虽然均呈现贯穿整个涂层的柱状晶结构,但Ti N/Zr N纳米多层涂层柱状结构的晶粒横向尺寸变小、生长结构致密,并且表面平整,无明显凸起。当Λ小于8.9 nm时,XRD图谱中出现卫星峰,多层涂层实现共格外延生长。由于Ti N/Zr N纳米多层涂层的高硬度与高韧性配合,使得耐磨性均优于单层;Ti N/Zr N纳米多层晶粒细化、结构致密,耐腐蚀性优于单层。当Λ为30 nm时,涂层的磨损率最低,为5.04×10-6mm3N-1m-1,具有最优的耐磨性能;而调制周期为8.9 nm,达到最低自腐蚀电流密度(icorr)(5.13×10-5A/cm2),具有最优的耐腐蚀性能。但纳米多层涂层的柱状晶结构未被打断,阻碍了耐腐蚀性能进一步提高;同一调制周期的涂层未达到最优的耐蚀性与耐磨性。考虑到电弧离子镀具有更高的离化率,所溅射出的粒子在负偏压作用下具有更高的离子能量,能够得到致密度更好的涂层,并有利于改善钛合金与硬质涂层结合力的问题;另一方面,氮化物涂层中Cr N比Zr N具有更好的耐磨耐腐蚀性。因此利用电弧离子镀技术沉积Ti N、Cr N单层及Ti N/Cr N纳米多层涂层。研究发现Ti N/Cr N纳米多层表现出较高的硬度（24 GPa）,相对于Ti N、Cr N单层涂层,Ti N/Cr N纳米多层涂层明显提高其力学性能、耐磨耐腐蚀性能,且相对于前期所制备的Ti N/Zr N纳米多层涂层性能也有所提高。通过改变Λ,进一步优化TiN/CrN纳米多层。研究发现,Ti N/Cr N纳米多层柱状晶晶粒被部分打断,没有形成贯穿整个涂层的柱状晶结构;随Λ降低,晶粒发生共格外延生长的趋势增加;Ti N/Cr N纳米多层的硬度值随Λ降低而增加,在Λ为12 nm时,硬度达到最高值29.79 GPa;Λ为12 nm时,结合力达到最大值36 N。磨损率随着Λ降低出现降低的变化趋势;icorr随着Λ降低而降低。其中调制周期为12 nm的Ti N/Cr N纳米多层涂层的磨损率最低(1.18×10-7mm3N-1m-1);同时其icorr也最低(1.03×10-7A/cm2)。因此,优化后的Ti N/Cr N纳米多层在同一调制周期内达到最优耐磨耐蚀性能,使得钛合金基体获得最优的防护效果。
叶倩文[10]（2020）在《W-Cr-Al-Ti-Si-N系纳米多层膜的组织结构及性能研究》文中研究表明过渡金属氮化物涂层（例如CrN和TiN）具有出色的机械,摩擦和腐蚀性能,可以改善工件的表面性能并延长工件的使用寿命。与传统的单层涂层相比,纳米多层涂层由于优越的综合性能而得到了广泛的研究。但是这些涂层比软质基体相比具有更高的硬度和刚度,在许多情况下受基体塑性变形的影响,可能导致涂层失效。将等离子体渗氮（PN）与硬质涂层结合起来的复合处理技术有效地高了涂层的硬度和膜基结合力,减少了涂层损坏或破裂的可能性,因此具有极高的研究前景。本论文采用多弧离子镀技术在AISI 4140钢表面制备了Cr-Al-Ti-N和W-Cr-Al-Ti-N纳米多层涂层,研究分析了加入W元素的纳米多层涂层的组织结构和机械性能。将AISI 4140钢进行等离子体氮化预处理,并将W-Cr-Al-Ti-N纳米多层涂层沉积在氮化的AISI 4140钢上,研究了经不同表面技术处理后样品的形貌、硬度、膜基结合力及耐腐蚀性能。采用X射线衍射仪（XRD）、扫电子显微镜（SEM）、透射电镜（TEM）、自动划痕仪,维氏硬度计及电化学工作站等分析测试了其组织结构、机械性能和耐蚀性能。得到以下结论:（1）AISI 4140钢主要以α相为主,Cr-Al-Ti-N纳米多层膜主要以CrN、AlN和TiN相为主。W-Cr-Al-Ti-N纳米多层膜主要以W2N、CrN、AlN和TiN相存在。W-Cr-Al-Ti-N纳米多层膜具有清晰的调制界面,从基体至顶部依次为底部CrN层、中间周期性的Cr-Ti-Al-Si-N梯度层及顶部的W-Cr-Al-Ti-N纳米多层涂层组成。W-Cr-Al-Ti-N纳米多层膜的纳米硬度和弹性模量达到最大值分别为47.9 GPa和425GPa,具有超硬效应。W-Cr-Al-Ti-N纳米多层涂层的抗塑性变形比H3/E*2达到最大约为0.609,高于普通的过渡金属氮化物硬质涂层（0.4）,具有良好的韧性。（2）AISI 4140钢经低温离子渗氮（LPN）和高温离子渗氮（HPN）后出现ε-Fe2-3N和γ’-Fe4N氮化物相,经氮化后沉积涂层的复合处理样品主要由W2N,CrN,TiN和AlN相组成,并且还检测到存在ε-Fe2-3N和γ’-Fe4N相。经离子渗氮后样品的硬度升高,低温氮化和涂层复合处理（LPN+Coating）样品的硬度为1332 HV0.05,高温氮化和涂层复合处理（HPN+Coating）样品的硬度值达到最高为2200 HV0.05。此外,经离子氮化预处理的复合处理样品的结合强度升高,HPN+Coating复合处理样品的结合力达到51N。经处理后样品在3.5wt.%NaCl溶液中的耐蚀性均升高,极化测试后HPN+Coating复合处理样品表面未发生腐蚀现象,具有优异的耐蚀性能。
二、超硬涂层研究进展（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、超硬涂层研究进展（论文提纲范文）
（1）刀具涂层材料的最新研究进展（论文提纲范文）
| 1 涂层材料 |
| 2 涂层组元分类 |
| 2.1 二元涂层 |
| 2.2 三元涂层 |
| 2.3 四元及多元涂层 |
| 3 涂层结构分类 |
| 3.1 单层涂层 |
| 3.2 多层涂层 |
| 3.3 纳米复合涂层 |
| 3.4 梯度涂层 |
| 4 超硬涂层 |
| 4.1 金刚石涂层 |
| 4.2 类金刚石涂层 |
| 4.3 立方氮化硼涂层 |
| 5 软涂层 |
| 6 新型硬质涂层 |
| 6.1 高熵合金涂层 |
| 6.2 含氧涂层 |
| 6.3 多元多层复合涂层 |
| 7 结语与展望 |
（3）脉冲直流磁控溅射Zr-B-C-（N）涂层的微观结构和性能研究（论文提纲范文）
| 中文摘要 |
| abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 引言 |
| 1.2 硬质涂层的分类及发展历程 |
| 1.2.1 硬质涂层的分类 |
| 1.2.2 涂层的发展历程 |
| 1.3 硬质涂层的制备技术 |
| 1.3.1 物理气相沉积 |
| 1.3.2 高功率脉冲磁控溅射技术 |
| 1.4 ZrB_2、Zr-B-C、Zr-C-B-N涂层及研究现状 |
| 1.4.1 ZrB_2涂层研究现状 |
| 1.4.2 Zr-B-C涂层研究现状 |
| 1.4.3 Zr-B-C-N涂层研究现状 |
| 1.5 研究内容 |
| 第2章 实验方法 |
| 2.1 实验材料 |
| 2.1.1 靶材 |
| 2.1.2 工作气体 |
| 2.1.3 基体的选择与前处理 |
| 2.2 镀膜设备 |
| 2.3 涂层制备 |
| 2.4 涂层组织结构表征 |
| 2.5 涂层力学性能表征 |
| 2.5.1 硬度与弹性模量 |
| 2.5.2 临界载荷 |
| 2.5.3 残余应力 |
| 2.6 涂层摩擦磨损性能 |
| 第3章 乙炔流量对Zr-B-C涂层结构和性能的影响 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 涂层的制备 |
| 3.3 涂层成分和结构 |
| 3.3.1 涂层成分分析 |
| 3.3.2 涂层物相组成 |
| 3.3.3 涂层形貌分析 |
| 3.3.4 沉积速率 |
| 3.4 涂层力学性能分析 |
| 3.4.1 硬度与弹性模量 |
| 3.4.2 膜/基结合力 |
| 3.4.3 残余应力 |
| 3.5 摩擦磨损性能 |
| 3.5.1 平均摩擦系数和磨损率 |
| 3.5.2 磨痕形貌 |
| 3.6 本章小结 |
| 第4章 沉积压强对磁控溅射Zr-B-C涂层结构和性能的影响 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 涂层的制备 |
| 4.3 涂层成分和结构 |
| 4.3.1 涂层成分分析 |
| 4.3.2 涂层物相组成 |
| 4.3.3 涂层形貌分析 |
| 4.3.4 沉积速率 |
| 4.4 涂层力学性能分析 |
| 4.4.1 硬度与弹性模量 |
| 4.4.2 膜/基结合力 |
| 4.4.3 残余应力 |
| 4.5 摩擦磨损性能 |
| 4.5.1 摩擦系数和磨损率 |
| 4.5.2 磨痕形貌 |
| 4.6 本章小结 |
| 第5章 不同氮气流量对Zr-B-C-N涂层结构和性能的影响 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 涂层的制备 |
| 5.3 涂层成分和结构 |
| 5.3.1 涂层成分分析 |
| 5.3.2 涂层物相组成 |
| 5.3.3 涂层形貌分析 |
| 5.3.4 沉积速率 |
| 5.4 涂层力学性能分析 |
| 5.4.1 硬度与弹性模量 |
| 5.4.2 膜/基结合力 |
| 5.4.3 残余应力 |
| 5.5 摩擦磨损性能 |
| 5.5.1 摩擦系数和磨损率 |
| 5.5.2 磨痕形貌 |
| 5.6 本章小结 |
| 第6章 结论与展望 |
| 6.1 主要结论 |
| 6.2 工作展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 申请硕士学位期间的研究成果及发表的学位论文 |
（4）AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN多层复合刀具涂层的制备及性能影响（论文提纲范文）
| 中文摘要 |
| Abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 课题的背景及意义 |
| 1.2 刀具涂层的发展和现状 |
| 1.2.1 硬质涂层 |
| 1.2.2 超硬涂层 |
| 1.3 刀具涂层的制备技术 |
| 1.3.1 物理气相沉积 |
| 1.3.2 化学气相沉积 |
| 1.3.3 物理化学气相沉积 |
| 1.4 电弧离子镀 |
| 1.5 本文主要研究内容 |
| 第2章 实验与性能测试方法 |
| 2.1 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层技术路线 |
| 2.2 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层的制备 |
| 2.2.1 实验材料 |
| 2.2.2 靶材与气体 |
| 2.2.3 电弧离子镀设备 |
| 2.2.4 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN制备工艺 |
| 2.3 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN微观性能的分析 |
| 2.4 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN力学性能的分析 |
| 2.4.1 临界载荷 |
| 2.4.2 硬度和弹性模量 |
| 2.5 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN摩擦学性能的分析 |
| 2.5.1 摩擦系数 |
| 2.5.2 磨损率 |
| 2.5.3 磨痕形貌 |
| 2.6 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层切削性能的分析 |
| 2.6.1 切削条件 |
| 2.6.2 切削参数 |
| 2.7 本章小结 |
| 第3章 调制比对AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层结构和性能的影响 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层工艺参数 |
| 3.3 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层微观结构分析 |
| 3.3.1 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层XRD |
| 3.3.2 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层的沉积速率 |
| 3.4 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层力学性能分析 |
| 3.4.1 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层硬度与弹性模量 |
| 3.4.2 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层临界载荷 |
| 3.5 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层摩擦学性能分析 |
| 3.5.1 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层磨痕形貌 |
| 3.5.2 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层摩擦系数 |
| 3.5.3 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层磨损率 |
| 3.6 本章小结 |
| 第4章 调制周期对AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层结构和性能的影响 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层沉积工艺参数 |
| 4.3 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层微观结构分析 |
| 4.3.1 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层XRD |
| 4.3.2 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层表面和截面形貌 |
| 4.3.3 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层化学成分 |
| 4.4 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层力学性能分析 |
| 4.4.1 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层厚度 |
| 4.4.2 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层硬度和结合力 |
| 4.5 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层摩擦学性能分析 |
| 4.5.1 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层摩擦系数 |
| 4.5.2 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层磨损率 |
| 4.5.3 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层磨痕形貌 |
| 4.6 本章小结 |
| 第5章 AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN涂层刀具的切削性能 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 刀具涂层制备 |
| 5.3 切削磨损形貌 |
| 5.4 切削磨损量 |
| 5.5 切削温度 |
| 5.6 本章小结 |
| 第6章 全文总结与工作展望 |
| 6.1 全文总结 |
| 6.2 工作展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 申请硕士学位期间的研究成果及发表的学术论文 |
（5）还原性气氛中Zr-Ti-B-N纳米复合涂层的制备和性能研究（论文提纲范文）
| 中文摘要 |
| abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 课题研究背景及意义 |
| 1.2 硬质涂层制备技术 |
| 1.2.1 物理气相沉积技术 |
| 1.2.2 复合高功率脉冲磁控溅射技术 |
| 1.3 过渡族金属硼化物涂层研究现状 |
| 1.3.1 二元金属硼化物涂层研究现状 |
| 1.3.2 ZrB_2基硼氮化物涂层研究现状 |
| 1.4 本课题主要研究内容 |
| 第2章 实验方法 |
| 2.1 实验材料 |
| 2.1.1 基体材料 |
| 2.1.2 靶材与气体 |
| 2.2 涂层的制备 |
| 2.2.1 Hi PIMS/Pulsed DC溅射系统 |
| 2.2.2 制备工艺 |
| 2.2.3 技术路线 |
| 2.3 涂层的显微结构分析 |
| 2.3.1 沉积速率 |
| 2.3.2 微观形貌与涂层成分 |
| 2.3.3 物相组成 |
| 2.4 涂层的力学性能分析 |
| 2.4.1 硬度与弹性模量 |
| 2.4.2 膜/基结合力 |
| 2.4.3 残余应力 |
| 2.5 涂层的摩擦学性能分析 |
| 2.5.1 摩擦系数 |
| 2.5.2 磨损率与磨痕形貌 |
| 第3章 还原性气体氛围对Zr-Ti-B-N涂层结构和性能的影响 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 涂层制备 |
| 3.3 结果与分析 |
| 3.3.1 元素成分 |
| 3.3.2 沉积速率 |
| 3.3.3 物相组成 |
| 3.3.4 微观形貌 |
| 3.3.5 硬度与弹性模量 |
| 3.3.6 膜/基结合力 |
| 3.3.7 摩擦磨损 |
| 3.4 本章小结 |
| 第4章 反应气体流量对Zr-Ti-B-N涂层结构和性能的影响 |
| 4.1 涂层制备 |
| 4.2 结果与分析 |
| 4.2.1 沉积速率 |
| 4.2.2 物相组成 |
| 4.2.3 微观形貌 |
| 4.2.4 硬度与弹性模量 |
| 4.2.5 残余应力 |
| 4.2.6 膜/基结合力 |
| 4.2.7 平均摩擦系数 |
| 4.2.8 磨痕形貌与磨损率 |
| 4.3 本章小结 |
| 第5章 Ti B_2 靶功率对Zr-Ti-B-N涂层结构和性能的影响 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 涂层制备 |
| 5.3 结果与分析 |
| 5.3.1 沉积速率 |
| 5.3.2 物相组成 |
| 5.3.3 微观形貌 |
| 5.3.4 硬度与弹性模量 |
| 5.3.5 残余应力 |
| 5.3.6 膜/基结合力 |
| 5.3.7 划痕形貌 |
| 5.3.8 磨痕形貌 |
| 5.3.9 摩擦系数与磨损率 |
| 5.4 本章小结 |
| 第6章 总结与展望 |
| 6.1 总结 |
| 6.2 展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 申请硕士学位期间的研究成果及发表的学术论文 |
（6）复合PVD氮化物刀具涂层的制备及其性能研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 研究背景 |
| 1.2 纳米多层硬质涂层的研究现状 |
| 1.3 物理气相沉积技术 |
| 1.3.1 电弧离子镀 |
| 1.3.2 磁控溅射 |
| 1.3.3 复合沉积技术 |
| 1.4 难加工材料的切削研究 |
| 1.4.1 高硬度模具钢 |
| 1.4.2 奥氏体不锈钢 |
| 1.4.3 球墨铸铁 |
| 1.5 研究内容 |
| 第二章 涂层制备与表征技术 |
| 2.1 涂层设备与沉积过程 |
| 2.1.1 涂层设备与靶材 |
| 2.1.2 基体的前处理 |
| 2.1.3 涂层沉积过程 |
| 2.2 涂层及涂层刀具性能测试方法 |
| 2.2.1 化学成分 |
| 2.2.2 生长形貌与表面状态 |
| 2.2.3 微观结构 |
| 2.2.4 力学性能 |
| 2.2.5 结合力 |
| 2.2.6 涂层应力测试 |
| 2.2.7 摩擦磨损性能 |
| 2.2.8 高温抗氧化性 |
| 2.2.9 车削性能评价 |
| 第三章 AlTiN/AlCrSiN涂层的结构和性能研究 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 涂层的制备 |
| 3.3 涂层的微观结构 |
| 3.4 涂层的力学性能 |
| 3.5 高温摩擦磨损性能 |
| 3.6 高温抗氧化性能 |
| 3.7 车削测试 |
| 3.8 本章小结 |
| 第四章 AlTiN涂层的复合沉积及性能研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 总气压的影响 |
| 4.3 氮气分压的作用 |
| 4.4 调制周期的作用 |
| 4.5 磁控溅射功率的影响 |
| 4.6 本章小结 |
| 第五章 AlTiN/AlCrN涂层的复合沉积和性能研究 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 涂层的结构和力学性能 |
| 5.3 涂层的抗氧化性能 |
| 5.4 涂层的摩擦磨损性能 |
| 5.5 本章小结 |
| 第六章 复合沉积AlTiN涂层的切削性能 |
| 6.1 引言 |
| 6.2 不锈钢的车削 |
| 6.3 球墨铸铁的车削 |
| 6.4 本章小结 |
| 结论与展望 |
| 参考文献 |
| 攻读学位期间取得与学位论文相关的成果 |
| 致谢 |
（7）微纳米超硬TiAlSiN涂层的研究与应用进展（论文提纲范文）
| 1 TiAlSiN涂层的制备 |
| 1.1 磁控溅射制备方法 |
| 1.2 多弧离子镀制备方法 |
| 2 TiAlSiN涂层的性能研究 |
| 2.1 硬度 |
| 2.2 摩擦磨损性能 |
| 2.3 耐氧化性 |
| 2.4 切削性能 |
| 2.5 抗粘附性 |
| 3 TiAlSiN涂层的应用 |
| 4 结 语 |
| (1) 新的制备技术。 |
| (2) 涂层结构方面。 |
（8）cBN涂层硬质合金刀具界面结合性能研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 变量注释表 |
| 1 绪论 |
| 1.1 引言 |
| 1.2 涂层刀具研究现状 |
| 1.3 cBN涂层硬质合金刀具界面性能研究现状 |
| 1.4 基于第一性原理与分子动力学的界面研究 |
| 1.5 课题的提出及研究意义 |
| 1.6 主要研究内容及安排 |
| 1.7 论文主要创新点 |
| 2 模拟理论及模拟条件的确定 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 第一性原理及模拟条件确定 |
| 2.3 分子动力学及模拟条件确定 |
| 2.4 界面结合性能的表征参数 |
| 2.5 本章小结 |
| 3 WC-Co/cBN界面结合性能研究 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 cBN不同终端的界面模型的构建与优化 |
| 3.3 界面结合性能参数计算 |
| 3.4 界面电子结构分析 |
| 3.5 本章小结 |
| 4 含有中间层的cBN涂层硬质合金刀具界面结合性能研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 含有中间层的界面模型构建与优化 |
| 4.3 含Diamond单中间层的界面结合性能研究 |
| 4.4 含SiC/Diamond双中间层的界面结合性能研究 |
| 4.5 本章小结 |
| 5 沉积温度对cBN涂层硬质合金刀具界面结合性能的影响 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 超晶胞界面模型的构建与优化 |
| 5.3 沉积温度对不含中间层界面模型界面结合性能的影响 |
| 5.4 沉积温度对含单中间层界面模型界面结合性能的影响 |
| 5.5 沉积温度对含双中间层界面模型界面结合性能的影响 |
| 5.6 本章小结 |
| 6 总结与展望 |
| 6.1 总结 |
| 6.2 展望 |
| 参考文献 |
| 作者简历 |
| 致谢 |
| 学位论文数据集 |
（9）氮化物纳米多层涂层微观结构调控及其耐磨耐腐蚀性能研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 钛合金概述 |
| 1.1.1 钛合金特点 |
| 1.1.2 钛合金应用 |
| 1.1.3 钛合金应用局限性 |
| 1.2 硬质防护涂层研究进展 |
| 1.2.1 涂层材料 |
| 1.2.2 涂层的制备方法 |
| 1.2.3 TiN基涂层研究现状 |
| 1.3 纳米多层对耐磨性的意义 |
| 1.3.1 摩擦磨损原理及影响因素 |
| 1.3.2 纳米多层耐磨原理 |
| 1.4 纳米多层对腐蚀的意义 |
| 1.4.1 腐蚀原理及影响因素 |
| 1.4.2 纳米多层耐腐蚀原理 |
| 1.5 课题来源及主要研究内容 |
| 1.5.1 课题来源 |
| 1.5.2 主要研究内容 |
| 第二章 涂层的制备及分析技术 |
| 2.1 涂层的制备技术 |
| 2.1.1 涂层沉积设备 |
| 2.1.2 基体的选择 |
| 2.1.3 镀膜前处理 |
| 2.1.4 涂层的制备 |
| 2.2 涂层形貌及结构检测方法 |
| 2.2.1 涂层的微观组织形貌 |
| 2.2.2 涂层的物相结构 |
| 2.2.3 涂层的磨痕轮廓测试 |
| 2.3 涂层力学性能测试方法 |
| 2.3.1 硬度和弹性模量 |
| 2.3.2 结合力 |
| 2.3.3 残余应力 |
| 2.4 耐磨性能测试方法 |
| 2.5 腐蚀性能测试方法 |
| 第三章 TiN、ZrN单层及不同调制周期纳米多层的制备及性能的研究 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 涂层的制备 |
| 3.3 涂层微观形貌及结构 |
| 3.3.1 涂层微观形貌 |
| 3.3.2 涂层相结构 |
| 3.4 涂层力学性能 |
| 3.5 涂层摩擦磨损性能 |
| 3.6 涂层电化学腐蚀性能 |
| 3.7 本章小结 |
| 第四章 TiN、CrN单层及纳米多层的制备及性能的研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 涂层的制备 |
| 4.3 涂层微观形貌及结构 |
| 4.3.1 涂层微观形貌 |
| 4.3.2 涂层相结构 |
| 4.4 涂层力学性能 |
| 4.5 涂层摩擦磨损性能 |
| 4.6 涂层电化学腐蚀性能 |
| 4.7 本章小结 |
| 第五章 不同调制周期对TiN/CrN纳米多层的影响 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 涂层的制备 |
| 5.3 涂层微观形貌及结构 |
| 5.3.1 涂层微观形貌 |
| 5.3.2 涂层相结构 |
| 5.4 涂层力学性能 |
| 5.5 涂层摩擦磨损性能 |
| 5.6 涂层电化学腐蚀性能 |
| 5.7 本章小结 |
| 结论和展望 |
| 结论 |
| 展望 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士期间发表的论文及专利 |
| 致谢 |
（10）W-Cr-Al-Ti-Si-N系纳米多层膜的组织结构及性能研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 引言 |
| 1.2 过渡金属氮化物膜层的发展 |
| 1.3 纳米多层膜 |
| 1.3.1 纳米多层膜的制备方法 |
| 1.3.2 纳米多层膜的结构 |
| 1.3.3 纳米多层膜的性能特点 |
| 1.3.4 纳米多层膜的致硬机理 |
| 1.4 复合处理技术 |
| 1.4.1 复合处理技术的设计理念 |
| 1.4.2 复合处理技术的研究现状 |
| 1.5 WN系涂层的研究进展 |
| 1.6 本论文的研究目的及内容 |
| 1.6.1 研究目的 |
| 1.6.2 研究内容 |
| 2 实验方案及研究方法 |
| 2.1 实验材料及预处理 |
| 2.2 实验制备 |
| 2.3 实验工艺 |
| 2.3.1 离子氮化工艺 |
| 2.3.2 涂层制备工艺 |
| 2.4 性能表征 |
| 2.4.1 微观形貌分析 |
| 2.4.2 物相结构分析 |
| 2.4.3 力学性能测试 |
| 2.4.4 电化学腐蚀性能测试 |
| 3 W-Cr-Al-Ti-N纳米多层膜的组织与性能 |
| 3.1 结构分析 |
| 3.2 形貌分析 |
| 3.3 力学性能分析 |
| 3.4 本章小结 |
| 4 氮化/WCrAlTiN多层涂层复合处理的组织与性能研究 |
| 4.1 结构分析 |
| 4.2 形貌分析 |
| 4.3 结合力分析 |
| 4.4 硬度分析 |
| 4.5 耐蚀性能分析 |
| 4.6 本章小结 |
| 5 结论 |
| 参考文献 |
| 附录:攻读硕士学位期间发表的学术论文 |
| 致谢 |
四、超硬涂层研究进展（论文参考文献）
- [1]刀具涂层材料的最新研究进展[J]. 范其香,林静,王铁钢. 表面技术, 2022
- [2]热喷涂制备Fe基非晶涂层的磨损行为研究进展[J]. 梁丹丹,张而耕,黄彪,陈强,周琼. 应用技术学报, 2021(03)
- [3]脉冲直流磁控溅射Zr-B-C-（N）涂层的微观结构和性能研究[D]. 尹照星. 天津职业技术师范大学, 2021(06)
- [4]AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN多层复合刀具涂层的制备及性能影响[D]. 刘迁. 天津职业技术师范大学, 2021(06)
- [5]还原性气氛中Zr-Ti-B-N纳米复合涂层的制备和性能研究[D]. 许人仁. 天津职业技术师范大学, 2021(06)
- [6]复合PVD氮化物刀具涂层的制备及其性能研究[D]. 张权. 广东工业大学, 2020(05)
- [7]微纳米超硬TiAlSiN涂层的研究与应用进展[J]. 张而耕,黄彪,陈强,周琼,李朝明,潘文高,林荣川,陈刚. 应用技术学报, 2020(02)
- [8]cBN涂层硬质合金刀具界面结合性能研究[D]. 汤美红. 山东科技大学, 2020(06)
- [9]氮化物纳米多层涂层微观结构调控及其耐磨耐腐蚀性能研究[D]. 黄雪丽. 广东工业大学, 2020(06)
- [10]W-Cr-Al-Ti-Si-N系纳米多层膜的组织结构及性能研究[D]. 叶倩文. 烟台大学, 2020(02)